北京汉达森张文萍

 

德国 MLase 用于工业应用的准分子激光器具有切割打孔、标记雕刻、焊接钎焊等功能，广泛应用于电子、半导体、材料加工等行业。MLase 准分子激光器为工业应用提供了高效、稳定的紫外光源，在材料加工等领域应用广泛。

MLase 准分子激光器覆盖所有典型波长（193nm、248nm、308nm），每脉冲能量范围高达 200mJ 以上，脉冲重复率高达 1,000 Hz。

 

特点：

能量稳定：光束轮廓均匀，能量稳定性≤2%，可确保工业加工过程的一致性和稳定性，适用于要求苛刻的应用场景。

高可靠性：采用全金属密封管等技术，激光腔寿命大于 20 亿次脉冲，具有较长的使用寿命和高可靠性，且维护成本低。

结构紧凑：为紧凑型设计，尺寸较小，如 MLI-200 尺寸为 560x315x445mm，重量 75kg，易于操作和集成到各种工业生产系统中。

多种冷却方式：部分型号如 MLI-200 默认风冷，后缀为 LC 的型号还可选主动水冷，可通过家用水或外部热交换器冷却，无需去离子水，能实现稳定的连续运行。

 

主要参数：

波长：气体介质为 ArF 时波长为 193nm，气体介质为 KrF 时波长为 248nm。

重复频率：有 200Hz、500Hz、1000Hz 等多种选择。

脉冲能量：标准型单脉冲能量为 8mJ 或 12mJ，高功率型单脉冲能量可达 12mJ 或 16mJ。

脉冲宽度：一般为 5-10ns，部分型号在 5-15ns 范围内。

尺    寸：560x355x445毫米（不含突出部件）。

 

工业应用包括：

光纤布拉格光栅 （FBG） 的书写

光学检测和计量，例如测试微光学器件

激光结构和划线

陶瓷、金属或塑料等材料的微加工

激光烧蚀/脉冲激光沉积（PLD、ICP-MS）

在半导体制造中，用于检测掩模或直接晶圆加工

 

主要型号介绍：

MLI-200：最大重复频率为 200Hz，当气体介质为 ArF 时，波长为 193nm，稳定脉冲能量为 6mJ，稳定脉冲功率为 1.2W，能量稳定性为 2%，梁尺寸为 6x3mm，光束发散度为 2x1mrad，脉冲持续时间为 5-10ns。

MLI-500：最大重复频率为 500Hz，气体介质为 ArF 时波长为 193nm，气体介质为 KrF 时波长为 248nm。ArF 介质下稳定脉冲能量为 6mJ，KrF 介质下为 10mJ，对应稳定脉冲功率分别为 3.0W 和 5.0W，能量稳定性为 2%。梁尺寸在 ArF 介质下为 6x3mm，KrF 介质下有 6x3mm 或 6x6mm 等规格，光束发散度为 2x1mrad，脉冲持续时间为 5-10ns 或 5-15ns。

MLI-1000：最大重复频率可达 1000Hz，气体介质为 KrF 时波长为 248nm，稳定脉冲能量为 10mJ，稳定脉冲功率为 10W，能量稳定性为 2%，梁尺寸为 6x3mm，光束发散度为 2x1mrad，脉冲持续时间为 5-15ns。

 

型号系列：

MLI-200

MLI-500

MLI-1000

MLI-500LC

MLI-1000LC

MLI-ARF1000LC

MLI-HP200 KRF-FBG

MLI-500 KrF

MLI 500 KrF HP

MLI-1000KrF